波前傳感器是一種用于測量光學波前的計量工具。雖然“波前傳感器"一詞涵蓋各種儀器，但它具體指獨立運行而不需要參考光束的波前測量設備，例如 Fizeau 或 Twyman-Green 干涉儀。制造波前傳感器的主要技術是 Shack-Hartmann 和橫向剪切干涉法。Phasics 的波前傳感器基于四邊形剪切干涉技術。
一、SID4 UV波前傳感器介紹
SID4 UV 具有低至 190 nm 的高分辨率波前感應功能，非常適合紫外光學測試、紫外激光表征(用于光刻或半導體應用)以及鏡頭和晶圓的表面檢查。
● 非常高的分辨率 – 250 × 250 采樣
● 高靈敏度 – 2 nm RMS
● 經濟實惠的紫外波前測量解決方案
二、SID4 UV波前傳感器參數
| 型號 | SID4 UV |
| 品牌 | Phasics |
| 波長 | 190 - 400 nm |
| 靶面 | 7.8 x 7.8 mm2 |
| 空間分辨率 | 26 µm |
| 相位和強度采樣 | 300 x 300 |
| 采集率 | > 15 fps |
| 分辨率（相位） | 2 nm RMS |
| 準確度 | 15 nm RMS |
| 實時處理頻率 | 2 fps (full resolution)* |
| 接口 | Giga Ethernet |
| 尺寸(WxHxL) | 74 x 71 x 91 mm3 |
| 重量 | ~600g |
三、應用
激光行業
半導體
天文學
航空航天
AR/VR
SID4 UV經濟型高分辨率紫外波前傳感器Phasics
SID4 UV經濟型高分辨率紫外波前傳感器Phasics
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